امتیاز کاربران

یازده مرحله از اصول ساخت ادوات MEMS

MEMSها در میکرو ساختارهای متحرك با اجزاء الکترومکانیکی (حسگرها، محرکها، ادوات انرژی تشعشعی و میکرو الکترونیک) ، مجتمع می‏شوند. این MEMSها می‏توانند برای استفاده در فناوری های میکروساخت مختلف مانند میکروماشین‏ها ساخته شوند. فناوری اساسی در ساخت MEMSها، CMOSها و BICMOSها (برای ساخت IC) و میکروماشین‏ها (برای تولید حرکت و تابش و تشعشع انرژی به ادوات و ساختارهای مقیاس میکرون). یکی از اهداف اصلی این است که میکروالکترونیک را با ادوات و ساختارهای میکروماشین‏های الکترومکانیکی مکانیکی، مجتمع کنند تا MEMSها‏یی مجتمع شده و با کارایی بالا تولید کنند. برای تعین کارایی بالا، قابلیت انجام کار، قابلیت اطمینان و قابلیت ساخت، فرآیندهای ساخت فله‏ای بر مبنای CMOS به خوبی توسعه یافته و باید اصلاح شده و افزایش یابد...

• قبلی

دیدگاه‌ها   

0 #1 میثم عبداللهی 1397-01-07 13:57

با سلام و احترام
لینک دانلود خراب می باشد
ممنون می شوم اصلاح فرمایید یا فایل را برایمان به ایمیل ارسال فرمایید.
ممنون از سایت بسیار مفیدتان

نقل قول کردن

بازآوری فهرست دیدگاه‌ها
خوراک‌خوان (آراس‌اس) دیدگاه‌های این محتوا

نوشتن دیدگاه

نام (اجباری)

آدرس پست الکترونیکی (اجباری است اما نمایش داده نمی‌شود)

آدرس سایت

مرا برای دیدگاه‌های بعدی به یاد بسپار

تصویر امنیتی جدید

ارسال

لغو

JComments