مراحل ساخت ادوات MEMS
نوشته شده توسط Amirhossein Ghasemi-
زیر مجموعه: Technical Complex
-
منتشر شده در 04 بهمن 1392
-
بازدید: 7254
یازده مرحله از اصول ساخت ادوات MEMS
MEMSها در میکرو ساختارهای متحرك با اجزاء الکترومکانیکی (حسگرها، محرکها، ادوات انرژی تشعشعی و میکرو الکترونیک) ، مجتمع میشوند. این MEMSها میتوانند برای استفاده در فناوری های میکروساخت مختلف مانند میکروماشینها ساخته شوند. فناوری اساسی در ساخت MEMSها، CMOSها و BICMOSها (برای ساخت IC) و میکروماشینها (برای تولید حرکت و تابش و تشعشع انرژی به ادوات و ساختارهای مقیاس میکرون). یکی از اهداف اصلی این است که میکروالکترونیک را با ادوات و ساختارهای میکروماشینهای الکترومکانیکی مکانیکی، مجتمع کنند تا MEMSهایی مجتمع شده و با کارایی بالا تولید کنند. برای تعین کارایی بالا، قابلیت انجام کار، قابلیت اطمینان و قابلیت ساخت، فرآیندهای ساخت فلهای بر مبنای CMOS به خوبی توسعه یافته و باید اصلاح شده و افزایش یابد...
جزئیات
لینک دانلود : Download
حجم فایل : 22KB
نوع فایل : Word
زبان : Persian
پسورد : www.iranmems.ir
گزارش خطا : این آدرس ایمیل توسط spambots حفاظت می شود. برای دیدن شما نیاز به جاوا اسکریپت دارید
سایر موارد
در صورت تمایل برای تکمیل این پست از آدرس زیر میتوانید استفاده کنید، سپس مطلب را برای ما ایمیل کنید.
جهت کسب اطلاعات بیشتر به وی کی پدیا مراجعه کنید.
دیدگاهها
لینک دانلود خراب می باشد
ممنون می شوم اصلاح فرمایید یا فایل را برایمان به ایمیل ارسال فرمایید.
ممنون از سایت بسیار مفیدتان
خوراکخوان (آراساس) دیدگاههای این محتوا