پدیده اسپاترینگ برای اولین بار 160 سال پیش ، در سال 1852، توسط شخصی به نام ویلیام رابرت گرو  (مخترع پیل سوختی-William Robert Grove) مطرح شد و در طی سالها توسعه پیدا کرد تا اینکه در سال 1920 توسط ایروینگ لانگ مویر (برنده جایزه نوبل - Irving Langmuir) به عنوان تکنیکی برای لایه نشانی لایه های نازک به کار برده شد. 

 بر خلاف تبخیر حرارتی، که در آن ماده برای افزایش فشار بخار تعادلی اش گرم می شود، در اسپاترینگ، ماده با استفاده از برهم کنش فیزیکی ذرات برخورد کننده به ماده منبع (که تارگت یا هدف نامیده می شود) به فاز بخار می رود. امروزه روش های اسپاترینگ زیادی برای لایه نشانی لایه های نازک استفاده می شود. از این لایه های نازک در وسایل ذخیره سازی مغناطیسی( نوار کاست، دیسک های کامپیوتری)، لایه ای نازک اپتیکی و ریزمدارها و غیره استفاده می شود.